耐高温压力传感器由西安交大研制成功

由西安交通大学承担的国家863计划项目耐高温压力传感器有效解决了我国石油化工、航空航天、汽车工业等领域高温环境下压力测量的技术难题，具有很高的推广和使用价值。

据西安交大精密工程研究所教授蒋庄德介绍，由他率领的课题组经过4年研究，研制成功的硅隔离耐高温微型压力传感器，能在－30℃～250℃环境下完成1000MPa以下任意量程范围的压力测量，能承受2000℃瞬时高温冲击。

由教育部近日组织的科技成果鉴定认为，该项目属国内首创，传感器性能指标和总体水平达到国际先进水平，在敏感元件集成设计和传感器结构设计等方面达到国际领先水平。

专家认为，该产品采用高能氧离子注入技术制作二氧化硅隔离层，将检测电路与基底隔开，避免了高温环境下检测电路与基底之间的漏电问题，解决了常规硅压力传感器120℃失效的技术难题；该产品将被测高温流体与硅敏感元件相隔离，避免了被测流体的瞬时高温冲击，解决了2000℃瞬时高温冲击的难题；采用钛－铂－金耐高温布线系统，解决了高温等恶劣环境下传感器引线的技术难题。

目前，该传感器经航空618 研究所、航天210所及西安宏邦石油仪器有限责任公司等单位试用表明，产品成本低、性能稳定可靠、工艺兼容性好、体积小、灵敏度高，不仅在静态精度、耐高温工作能力及动态响应能力等技术指标上可与国外同类先进产品媲美，而且在耐瞬时高温冲击、工作量程等性能指标上有独到之处，有效解决了长期困扰企业的高温环境下压力测量的难题。