智能溅射离子泵电源控制器

2006/3/14 10:49:11

所属科技计划	中国100所重点大学	技术类型	其他
所属行业	电子	填表时间
项目名称	智能溅射离子泵电源控制器
应用范围
项目简介	一、项目简介溅射离子泵（Sputter-ion pump）由于其清洁无油、对多种气体的抽气能力、以及不怕震动和易于维护，是目前超高真空获得系统中使用最广泛的一种真空泵，广泛应用于分析仪器、材料研究、加速器、光束线、储存环、空间环境模拟、镀膜技术以及其它要求无污染的环境。溅射离子泵是靠电磁场的作用产生潘宁放电而使气体分子电离，利用电离产生的离子轰击并溅射阴极板（钛板），使电离了的气体分子收附于其中或利用溅射的吸气剂膜层（钛膜）来抽气的真空泵。几十年的离子泵的发展过程中，国外近十年来变化最大的是离子泵电源控制器，主要表现在采用高频开关电源代替陈旧的50Hz功频电源。本产品按目前国际行业标准提供了一种基于开关电源方式的智能溅射离子泵电源控制器，全面使用开关电源替代过去的功频电源，重量轻、体积小、输入电压范围宽、高效节能。其技术达到国内领先水平。本项目为成果推广计划，属于光电子科学和光电一体化技术，其研发起始时间为1999年1月1日，于2000年1月1日研发终止。项目已达到小批量阶段的成熟程度，已与北京中科科仪技术发展有限公司、合肥国家同步辐射实验室有过合作。二、性能指标 1、输入电压范围宽，开关电源，高效节能。输入：120V~260 V交流输入，47Hz~63Hz，最大输入功率300W 2、体积小、重量轻、智能化，使用界面友好。4位LED数码管显示高压、离子流、系统状态和报警阈值，六只键盘用于功能设定。自动量程切换，ADC转换及显示次数200Hz。两点输出离子流报警阈值点设定。RS232/RS485微机通讯接口 3、输出：7000Vdc、5000Vdc、3000Vdc，稳定度小于±1%。最大输出电流（短路电流）100mA，最大输出功率120W（3KV/40mA）。最小输出电流检测8.0′10-8安培，最小检测电流分辨1.0′10-8安培。 4、环境温度范围：0~40 °C，湿度：最大90%（非凝结）。5、电磁兼容性（EMC）符合IEC10006、安全防护符合EN61010 7、重量：5Kg 8、体积：195′320′120（宽′深′高）三、项目投资估算详细方案和资金用途：需厂房30平米，流动资金10万元，生产设备需万用表、木工用具（生产机箱用）、计算机一台、电烙铁等常用电工工具。四、合作方式具体面议。
生产条件
经济效益
合作方式
备注

成果完成单位	单位名称	中国科学技术大学
	地址	合肥市金寨路96号
	邮政编码	230026
	联系人
	电话	0311-3602184
	电子邮件
	网址
	所属地区	安徽省

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